Индекс УДК |
539.21:537 537.6 |
Электронное строение и фазовый состав оксида кремния в композитных металлсодержащих слоях многослойной аморфной наноструктуры [(Co[40]Fe[40]B[20])[34](SiO[2])[66]/C][46] c углеродными прослойками [Текст] Э. П. Домашевская [и др.] |
|
Аннотация | Многослойная аморфная наноструктура [ (Co[40]Fe[40]B[20]) [34] (SiO[2]) [66]/C][46] из композитных металлсодержащих слоев, чередующихся c углеродными прослойками, получена ионно-лучевым распылением на вращающуюся ситалловую подложку из двух мишеней, одна из которых представляла собой металлическую пластину сплава Co[40]Fe[40]B[20] со вставками кварца. Неметаллические прослойки напылялись из графита (вторая мишень). Толщины бислоев многослойной наноструктуры (МНС) (~4-8 нм), состоящие из металлсодержащих композитных слоев (Co[40]Fe[40]B[20]) [34] (SiO[2]) [66] с оксидами кремния и неметаллических углеродных прослоек, определялись методом малоугловой дифракции. Результаты экспериментального послойного исследования без разрушения МНС методом ультрамягкой рентгеновской эмиссионной спектроскопии композитных слоев (Co[40]Fe[40]B[20]) [34] (SiO[2]) [66] показали отклонение состава диэлектрического компонента композита от стехиометрии распыляемого кварца в сторону уменьшения содержания кислорода с образованием субоксида SiO[1. 7]. По результатам моделирования SiL[2, 3]-спектров с помощью эталонных спектров известных фаз, содержание субоксидной фазы кремния в составе композитных слоев может достигать половины состава диэлектрического компонента, второй половиной которого является SiO[2]. Это обстоятельство может способствовать увеличению роли второго канала электропереноса носителей гранула/прослойка/гранула и ранее наблюдаемому резкому спаду удельного электросопротивления и общему подъему магнитной проницаемости МНС. |
Название источника | Неорганические материалы |
Место и дата издания | 2017 |
Прочая информация | Т. 53, № 9. - С. 950-956 |