| Индекс УДК | 546.561-31 |
|
Исследование состава и структуры пленок, полученных термическим окислением меди [Текст] Адилов Ш. Р. [и др.] |
|
| Аннотация | Исследован состав и структура тонких пленок оксида меди, полученных термическим окислением слоев меди толщиной 100 нм, нанесенных на кварцевое стекло методом высокочастотного магнетронного распыления. Получены зависимости толщины пленки и содержания оксидов CuO и Cu[2]O в ней в зависимости от температурно-временных условий температурной обработки. Исследования показали, что зависимости от режимов получения пленки могут быть многофазными и содержать разные оксиды меди, преимущественно CuO и Cu[2]O, обладающие разной шириной запрещенной зоны и р-типом проводимости. |
| Название источника | Физика и химия стекла |
| Место и дата издания | 2017 |
| Прочая информация | Т. 43, № 3. - С. 325-330 |
