| Индекс УДК | 621.315.592 |
|
Модель расчета состава твердых растворов GaAs[x]P[1 - x] в условиях МОС-гидридной эпитаксии [Текст] А. Д. Максимов [и др.] |
|
| Аннотация | Предложена модель расчета состава твердого раствора GaAs[x]P[1 - x], основанная на определении итерационным методом равновесных парциальных давлений продуктов пиролиза исходных реагентов с последующим расчетом состава по адсорбционно-десорбционной модели. Предложенная модель показывает хорошее соответствие результатов расчета с экспериментальными данными. |
| Название источника | Неорганические материалы |
| Место и дата издания | 2017 |
| Прочая информация | Т. 53, № 4. - С. 362-368 |
