| Индекс УДК | 621.79 |
|
Фазовый состав, структура и механические свойства ионно-плазменных вакуумно-дуговых покрытий систем Mo-Si-Al и Mo-Si-Al-N [Текст] И. В. Блинков [и др.] |
|
| Аннотация | Методом ионно-плазменного вакуумно-дугового напыления получены наноструктурные покрытия Mo-Si-Al с однородным распределением равноосных зерен размером 8-12 нм и Mo-Si-Al-N с многослойной структурой и периодом модуляции 22-25 нм. Полученные покрытия многофазны. В них присутствуют MoSi[2] и Mo; Mo[2]N и аморфные Si[3]N[4] и AlN соответственно. Покрытия систем Mo-Si-Al-N и Mo-Si-Al имеют твердость 41 и 18 ГПа соответственно при одинаковом сопротивлении упругой деформации и значительно большем сопротивлении покрытия Mo-Si-Al-N пластической деформации. Коэффициенты трения покрытий примерно одинаковы (~0. 67-0. 69 при 20°С и ~0. 52-0. 56 при 550°С), однако покрытия Mo-Si-Al-N имеют износ на 3 и 2 порядка меньше при 20 и 550°С соответственно. Покрытия обоих составов характеризуются высокой адгезией к основе и когезионным разрушением. Их частичное истирание в процессе измерительного царапания происходит при нагрузках 80 и 63 Н соответственно для систем Mo-Si-Al и Mo-Si-Al-N. |
| Название источника | Неорганические материалы |
| Место и дата издания | 2017 |
| Прочая информация | Т. 53, № 1. - С. 105-114 |
