| Индекс УДК |
542.9 539.2 |
|
Формирование наноразмерных оксидных пленок термооксидированием гетероструктур Co[3]O[4]/InP [Текст] Е. В. Томина [и др.] |
|
| Аннотация | Установлено влияние магнетронно-нанесенного наноразмерного слоя оксида кобальта CO[3]O[4] на термооксидирование InP, состав и морфологию поверхности сформированных оксидных пленок. |
| Название источника | Журнал общей химии |
| Место и дата издания | 2017 |
| Прочая информация | Т. 87 (149), вып. 1. - С. 11-16 |
