Индекс УДК | 544 |
Изучение влияния условий роста методом ХГФО в режиме дугового разряда на образование и габитус кристаллов алмаза [Текст] А. Н. Блаут-Блачев[и др.] |
|
Аннотация | Экспериментально изучено формирование кристаллов алмаза методом CVD в газовой смеси метан/водород с использованием дугового разряда постоянного тока для активации газовой смеси. Получены данные о зависимости размеров кристаллов от состава газовой смеси, температуры подложки и других параметров. Скорость роста кристаллов при используемом методе может превышать 100 мкм/ч. Показано участие в процессе роста кристаллов электронов и отрицательно заряженных частиц. |
Название источника | Физикохимия поверхности и защита материалов |
Место и дата издания | 2017 |
Прочая информация | Т. 53, № 1. - С. 70-74 |