Поиск

Силикатные наноразмерные пленки, получаемые золь-гель методом, для планарной технологии изготовления полупроводниковых газовых сенсоров [Текст]

Авторы: Шилова, О. А.
Подробная информация
Силикатные наноразмерные пленки, получаемые золь-гель методом, для планарной технологии изготовления полупроводниковых газовых сенсоров [Текст]
Ил.19
Табл.5
Физика и химия стекла
2005
Т. 31, № 2 .- С. 270-293