Индекс УДК | 621.382.088 |
Методы и результаты экспериментального определения частотных характеристик и S-параметров СВЧ-контактирующих устройств зондовіх систем для контроля полупроводниковых структур на пластине Текст |
|
Метрология и приборостроение 2016 № 4. - С. 10-12 |