Поиск

Морфология пор в n-Si (100) при его травлении в растворах фтористоводородной кислоты

Авторы: Абрамова, Е. Н.
Подробная информация
Индекс УДК 611.315.594
Морфология пор в n-Si (100) при его травлении в растворах фтористоводородной кислоты
Текст
Неорганические материалы
2016
Т. 52, № 10. - С. 1047-1053