| Индекс УДК | 621.315.592 |
|
Локальные колебательные моды комплекса дивакансия-два атома кислорода в кремнии Е. А. Толкачева, Л. И. Мурин, Ф. П. Коршунов |
|
| Аннотация | Влияние изотопного состава кремния на локальные колебательные моды вакансионно-кислородных комплексов. |
| Ключевые слова |
кремний вакансионно-кислородные комплексы отжиг облучение микроэлектроника наноэлектроника кислородосодержащие центы спектроскопия локальных колебательных мод оптические свойства |
| Место и дата издания | 2016 |
| Прочая информация | Т. 60, № 3. - С. 51-56 |
| Название источника | Доклады Национальной академии наук Беларуси |
