Поиск

Формирование нанопор в процессе электролитического травления кремния в растворах фтористоводородной кислоты

Авторы: Абрамова, Е. Н. Хорт, А. М. Яковенко, А. Г. Швец, В. И.
Подробная информация
Индекс УДК 611.315.594
Формирование нанопор в процессе электролитического травления кремния в растворах фтористоводородной кислоты
Текст
Неорганические материалы
2015
Т. 51, № 8. - С. 815-822