Поиск

Микроструктура и фазовый состав покрытий из карбидов тантала, полученных методом реакционного осаждения из газовой фазы

Авторы: Лозанов, В. В. Сысоев, С. В. Бакланова, Н. И.
Подробная информация
Индекс УДК 621.793.3
Микроструктура и фазовый состав покрытий из карбидов тантала, полученных методом реакционного осаждения из газовой фазы
Текст
Неорганические материалы
2015
Т. 51, № 7. - С. 746-751