| Индекс УДК | 621.7 |
|
Контролируемое нанесение Ti-Al-N покрытий методом реактивного магнетронного распыления Ф. Ф. Комаров [и др.] |
|
| Аннотация | Влияние режимов нанесения покрытий Ti-Al-N, полученных методом реактивного магнетронного распыления, на их состав, структуру и механические свойства. |
| Ключевые слова |
пленки пленочные структуры магнетронное напыление нанесение покрытий нанокомпозиты микроструктура коэффициент трения трибомеханические характеристики |
| Место и дата издания | 2014 |
| Прочая информация | Т. 58, № 5. - С. 40-43 |
| Название источника | Доклады Национальной академии наук Беларуси |
