Поиск

Глубокое реактивное ионное травление синтетического алмаза

Авторы: Бормашов, В. С. Голованов, А. В. Волков, А. П. Тарелкин, С. А. Буга, С. Г. Бланк, В. Д.
Подробная информация
Индекс УДК 544.588:533.924
Глубокое реактивное ионное травление синтетического алмаза
Текст
Химия и химическая технология. Изв. вузов
2014
Т. 57, № 5. - С. 4-7