Электрофизические характеристики силовых МОП-трансзисторов, дополнительно имплантированных ионами азота
Оджаев, В. Б., Петлицкий, А. Н., Просолович, В. С., Ковальчук, Н. С., Соловьев, Я. А., Шестовский, Д. В., Явид, В. Ю., Янковский, Ю. Н.
Электрофизические характеристики силовых МОП-трансзисторов, дополнительно имплантированных ионами азота, В. Б. Оджаев [и др.]
2022 .-
7 рис., 1 табл.