Осаждение пленок кремния, легированных бором и фосфором газоструйным плазмохимическим методом
Щукин, В. Г., Шарафутдинов, Р. Г., Константинов, В. О.
Осаждение пленок кремния, легированных бором и фосфором газоструйным плазмохимическим методом, [Электронный ресурс]
ил., табл., схем.
Физика и техника полупроводников, 2016, Т. 53, вып. 1. - С. 132-136
Щукин_осаждение