Высокочастотная плазма пониженного давления в энергосберегающих технологиях обработки поверхности
Хубатхузин, А. А., Абдуллин, И. Ш., Гафаров, И. Г., Христолюбова, В. И.
Высокочастотная плазма пониженного давления в энергосберегающих технологиях обработки поверхности, [Текст]
Энергосбережение и водоподготовка, 2015, № 1. - С. 37-41