Исследование ионно-имплантированных фоточувствительных кремниевых структур методом электрохимического вольт-фарадного профилирования
Яковлев, Г. Е., Фролов, Д. С., Зубкова, А. В., Левина, Е. Е. , Зубков, В. И., Соломонов, А. В., Стерлядкин, О. К., Сорокин, С. А.
Исследование ионно-имплантированных фоточувствительных кремниевых структур методом электрохимического вольт-фарадного профилирования, [Электронный ресурс]
ил., табл.
// Физика и техника полупроводников .-
2016 .-
Т. 50, вып. 3. - С. 324-330 .-
Яковлев_исследование
