Термическая стабильность нанокристаллических пленок на основе системы "TiZrAlN", имплантированных ионами гелия
Углов, В. В., Ровбуть, А. Ю., Злоцкий, С. В., Солодухин, И. А.
Термическая стабильность нанокристаллических пленок на основе системы "TiZrAlN", имплантированных ионами гелия, [Текст]
ил.
Вестник БГУ. Сер. 1, Физика. Математика. Информатика, 2015, № 2. - С. 30-35
