Структура и электрические свойства пленок на основе оксида олова, легированных цирконием
Ситников, А. В., Жилова, О. В., Бабкина, И. В., Макагонов, В. А., Калинин, Ю. Е., Ремизова, О. И.
Структура и электрические свойства пленок на основе оксида олова, легированных цирконием, [Электронный ресурс]
ил.
Физика и техника полупроводников, 2018, Т. 52, вып. 9. - С. 995-999
Ситников_структура
