Синтез пленок AlN с использованием вакуум-плазменных технологий
Зайцев, С. В., Ващилин, С. В., Прохоренко, Д. С., Нарцев, В. М., Евтушенко, Е. И.
Синтез пленок AlN с использованием вакуум-плазменных технологий, [Текст]
ил.
Огнеупоры и техническая керамика, 2014, № 7-8. - С. 15-18
