Особенности формирования комбинированной магнетронно-лазерной плазмы в процессах нанесения пленочных покрытий
Бурмаков, А. П., Кулешов, В. Н., Прокопчик, К. Ю.
Особенности формирования комбинированной магнетронно-лазерной плазмы в процессах нанесения пленочных покрытий, [Текст]
ил.
Инженерно-физический журнал, 2016, Т. 89, № 5. - С. 1281-1287
