Влияние профиля выработки мишени на свойства пленок молибдена
Минкин, А. М., Медведева, Н. А., Ларионов, Д. Д., Кетов, А. А., Вайсман, Я. И.
Влияние профиля выработки мишени на свойства пленок молибдена, [[Текст]], А. М. Минкин [и др.]
// Журнал прикладной химии .-
2019 .-
Т. 92, вып. 10. - С. 1263-1270 .-
