Разработка химико-гальванических процессов для литографического производства трехмерных микроструктур
Абрамский, А. Ю., Гольденберг, Б. Г., Зелинский, А. Г., Кондратьев, В. И., Корольков, В. П., Коронкевич, В. П., Маслий, А. И., Медведев, А. Ж.
Разработка химико-гальванических процессов для литографического производства трехмерных микроструктур, [Текст]
Гальванотехника и обработка поверхности, 2010, Т. 18, № 2.- С. 11-17
