Оптические свойства тонких пленок SiO[x] (x < 2), полученных обработкой термического диоксида кремния в водородной плазме
Кручинин, В. Н., Перевалов, Т. В., Алиев, В. Ш., Исхакзай, Р. М. Х., Спесивцев, Е. В., Гриценко, В. А., Пустоваров, В. А.
ил., табл.
// Оптика и спектроскопия .-
2020 .-
Т. 128, вып. 10. - С. 1467-1472 .-
Кручинин_оптические
