Микроструктура и механические свойства многослойных альфа-AlN/альфа-BCN-покрытий в зависимости от плотности тока при распылении мишени B[4]C
Погребняк, А. Д., Иващенко, В. И., Ердыбаева, Н. К., Купчишин, А. И., Лисовенко, М. А.
ил., табл.
// Физика твердого тела .-
2018 .-
Т. 60, вып. 10. - С. 1986-1989 .-
Погребняк_микроструктура
