Способ получения пленок ITO с контролируемым значением показателя преломления
Марков, Л. К., Смирнова, И. П., Павлюченко, А. С., Кукушкин, М. В., Закгейм, Д. А., Павлов, С. И.
Способ получения пленок ITO с контролируемым значением показателя преломления, [Электронный ресурс]
ил.
// Физика и техника полупроводников .-
2016 .-
Т. 50, вып. 7. - С. 1001-1006 .-
Марков_способ
