Получение нанокластеров кремния, ncl-Si, в матрице гидрированного аморфного субокисла кремния, a-SiO[x] : H (0 < x < 2), с помощью модулированной во времени плазмы магнетрона на постоянном токе
Ундалов, Ю. К., Теруков, Е. И., Гусев, О. Б., Трапезникова, И. Н.
Получение нанокластеров кремния, ncl-Si, в матрице гидрированного аморфного субокисла кремния, a-SiO[x] : H (0 < x < 2), с помощью модулированной во времени плазмы магнетрона на постоянном токе, [Электронный ресурс]
ил., табл.
// Физика и техника полупроводников .-
2016 .-
Т. 50, вып. 4. - С. 538-548 .-
Ундалов_получение
