Структурные и оптические свойства оксида кремния, имплантированного ионами цинка
Моховиков, М. А., Мильчанин, О. В., Пархоменко, И. Н., Комаров, Ф. Ф., Власукова, Л. А., Королев, Д. А., Мудрый, А. В., Живулько, В. Д., Арно Янсе, В. ван
Структурные и оптические свойства оксида кремния, имплантированного ионами цинка, влияние степени пересыщения и термообработки, М. А. Моховиков, О. В. Мильчанин, И. Н. Пархоменко [и др.]
табл., рис.
