Методы и средства автоматического зондового контроля микро-, нано- и СВЧ-структур на пластине и кристалле
Минченко, В. А., Ковальчук, Г. Ф., Школык, С. Б., Зайцев, В. А.
Методы и средства автоматического зондового контроля микро-, нано- и СВЧ-структур на пластине и кристалле, [Текст]
ил.
Метрология и приборостроение, 2014, № 2. - С. 23-36