Simulation of target surface chemical state in a hot-target HiPIMS process
Kaziev, A. V., Kolodko, D. V., Tumarkin, A. V., Kharkov, M. M., Lisenkov, V. Yu.
Simulation of target surface chemical state in a hot-target HiPIMS process, A. V. Kaziev, D. V. Kolodko, A. V. Tumarkin [et al.]
4 рис.
// Известия вузов. Химия и химическая технология .-
2023 .-
Т. 66, вып. 12. - С. 76-81 .-
