Каталог библиотеки БГТУ

1. Базы данных
2. Статьи
3. Ключевые слова
4. СВЧ ионно-физическое травление

Статьи. Ключевые слова - СВЧ ионно-физическое травление

• Морфологическая неустойчивость поверхности кристаллов кремния (100) при СВЧ ионно-физическом травлении
  Яфаров, Р. К., Шаныгин, В. Я.
  
  Морфологическая неустойчивость поверхности кристаллов кремния (100) при СВЧ ионно-физическом травлении, [Электронный ресурс] ил. Физика твердого тела, 2016, Т. 58, вып. 2. - С. 350-353 Яфаров_морфологическая