Трибологические характеристики покрытий TiN, полученные методом реактивного магнетотронного распыления при пониженном давлении
Ермоленко, М. В., Завадский, С. М., Голосов, Д. А., Мельников, С. Н., Замбург, Е. Г.
Трибологические характеристики покрытий TiN, полученные методом реактивного магнетотронного распыления при пониженном давлении, [Текст]
ил.
Трение и износ, 2016, Т. 37, № 3. - С. 369-373
