Концентрические гексагональные структуры GaN для нанофотоники, изготовленные селективной газофазной эпитаксией с использованием ионного травления
Митрофанов, М. И., Левицкий, Я. В., Вознюк, Г. В., Татаринов, Е. Е., Родин, С. Н., Калитеевский, М. А. , Евтихиев, В. П.
Концентрические гексагональные структуры GaN для нанофотоники, изготовленные селективной газофазной эпитаксией с использованием ионного травления, [Электронный ресурс]
ил.
Физика и техника полупроводников, 2018, Т. 52, вып. 7. - С. 816-818
Митрофанов_концентрические
