Формирование и исследование p-i-n-структур на основе двухфазного гидрогенизированного кремния со слоем германия в i-области
Кривякин, Г. К., Володин, В. А., Шкляев, А. А. , Mortet, V., More-Chevalier, J., Ashcheulov, P., Remes, Z., Stuchlikova, T. H., Stuchlik, J.
Формирование и исследование p-i-n-структур на основе двухфазного гидрогенизированного кремния со слоем германия в i-области, [Электронный ресурс]
ил., табл.
Физика и техника полупроводников, 2017, Т. 51, вып. 10. - С. 1420-1425
Кривякин_формирование
