Параметры пленок ZnO с дырочным типом проводимости, полученных методом высокочастотного магнетронного распыления
Мездрогина, М. М., Виноградов, А. Я., Левицкий, В. С., Терукова, Е. И., Кожанова, Ю. В., Агликов, А. С.
Параметры пленок ZnO с дырочным типом проводимости, полученных методом высокочастотного магнетронного распыления, [Электронный ресурс]
ил.
Физика и техника полупроводников, 2017, Т. 51, вып. 5. - С. 588-593
Мездрогина_параметры
