Формирование аморфных нанокластеров и нанокристаллов германия в пленках GeSi[x]O[y] на кварцевой подложке с использованием печных и импульсных лазерных отжигов
Fan, Zhang, Кочубей, С. А., Stoffel, M., Rinnert, H., Vergnat, M., Володин, В. А.
Формирование аморфных нанокластеров и нанокристаллов германия в пленках GeSi[x]O[y] на кварцевой подложке с использованием печных и импульсных лазерных отжигов, [Электронный ресурс]
ил. табл.
Физика и техника полупроводников, 2020, Т. 54, вып. 3. - С. 251-258
Fan_формирование
