Ионно-лучевое осаждение фотоактивных нанослоев кремниевых солнечных элементов
Лунин, Л. С., Чеботарев, С. Н., Пащенко, А. С., Болобанова, Л. Н.
Ионно-лучевое осаждение фотоактивных нанослоев кремниевых солнечных элементов, [Текст]
ил
Неорганические материалы, 2012, Т.48, № 5.- С.517-522