Ресурсосберегающая технология производства полиимидной композиции для формирования специальных покрытий при производстве интегральных схем М-во образования РБ ; БГТУ |
|
Ресурсо- и энергосберегающие технологии и оборудование, экологически безопасные технологии : материалы Международной научно-технической конференции, 16-18 ноября 2005 г. Минск, 2005 Ч. 2. - С. 26-28 |