| Маркер записи | n 22 7 4500 |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/280406559 |
| Дата корректировки | 7:45:58 8 февраля 2023 г. |
|
985-434-394-4 15000-00 |
|
| Служба первич. каталог. |
БГТУ БГТУ |
| 621.382:658.274(075.8) | |
|
621.3 М91 820815, 820816, 820817, УК2691-41экз |
|
|
001 2 15-05 |
|
|
Мурашкевич, Анна Николаевна Мурашкевич, А. Н. |
|
|
Оборудование производств материалов и изделий электронной техники Текст учебное пособие по курсу "Оборудование и основы проектирования предприятий подотрасли" для студ. спец. 1-48 01 01 "Хим. технология неорган. веществ, материалов и изделий" |
|
|
Минск БГТУ 2005 |
|
|
241 с. ил. |
|
| Учебники БГТУ | |
| Изложены сведения об основных типах и характеристиках оборудования, применяемого при производстве материалов и изделий электронной техники. Рассмотрено устройство оборудования, сформулированы требования по эксплуатации и рекомендации по усовершенствованию. | |
|
газовые системы оборудования оборудование для литографии оборудование для нанесения тонких пленок оборудование для производства монокристаллов оборудование для производства электронной техники оборудование ионной имплантации оборудование электронного производства производство изделий электронной техники электронная техника |
|
|
Жарский, Иван Михайлович Жарский, И. М. |
|
|
120 44 |
