Поиск

Фоторезистивные материалы на основе полиимидов

Авторы: Глоба, И. И. Крутько, Э. Т. Прокопчук, Н. Р.
Местонахождение Краткая информация
Маркер записи n 22 7 4500
Контрольный номер RU/IS/BASE/380796515
Дата корректировки 7:44:42 8 февраля 2023 г.
Служба первич. каталог. БГТУ
БГТУ
rus
BY
776.17+655.226.2
05-04
Глоба, И. И.
Фоторезистивные материалы на основе полиимидов
Табл.2
Библиогр.: 14 назв.
полиимиды
термостойкие фоторезистивные материалы
фотолитография
Крутько, Э. Т.
Прокопчук, Н. Р.
Труды Белорусского государственного технологического университета. Серия 4. Химия и технология органических веществ
2002
Вып. 10. - С. 109-114
Тип документа b