| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/695316006 |
| Дата корректировки | 8:16:12 8 февраля 2023 г. |
| Служба первич. каталог. |
Шавель БГТУ БГТУ |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 543.27.8 |
| Автор | Олиферович, Н. М. |
|
Метод магнетронного распыления для чувствительных элементов газоанализаторов Электронный ресурс |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | БГТУ |
| Дата издания оригинала | 2021 |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., схем. |
| Библиография | Библиогр.: 1 назв. |
| Ключевые слова | магнетронное распыление |
|
газоанализаторы газовые смеси полупроводниковые сенсоры оксидные пленки |
|
| Другие авторы | Анкуда, Максим Анатольевич |
| Полное имя | Анкуда, М. А. |
|
Карпович, Дмитрий Семенович Карпович, Д. С. |
|
| Организация/ юрисдикция | Белорусский государственный технологический университет |
| Другие уровни | Кафедра автоматизации производственных процессов и электротехники |
|
Передовые технологии и материалы будущего Минск : БГТУ, 2021 Т. 1. - С. 234-238 RU/IS/BASE/693064763 |
|
| Тип документа | b |
