| Индекс УДК | 674.055:621.934 |
| Автор | Жилинский, Валерий Викторович |
|
Электрохимическое формирование композитных катодов-мишеней для вакуумного напыления Электронный ресурс |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | БГТУ |
| Дата издания | 2021 |
| Ключевые слова | композитные катоды-мишени |
| Другие авторы | Чаевский, Вадим Витальевич |
|
Химическая технология и техника Минск : БГТУ, 2021 С. 140-143 RU/IS/BASE/670161368 |
