| Индекс УДК | 539.1.06:539.23.234 |
|
Изучение композиционного состава приповерхностных слоев структур Me/Si, полученных ионно-ассистируемым осаждением металлсодержащих покрытий Электронный ресурс |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | БГТУ |
| Дата издания | 2021 |
|
Информационные технологии Минск : БГТУ, 2021 С. 36-38 RU/IS/BASE/670161917 |
