| Индекс УДК | 539.1.06:539.23.234 |
| Автор | Тульев, Валентин Валентинович |
|
Влияние ионно-ассистируемого осаждения металлсодержащих покрытий на содержание водорода в Cr/Si, Ti/Si и Zr/Si-структурах Текст |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | БГТУ |
| Дата издания | 2020 |
| Ключевые слова | ионно-ассистируемые осаждения |
|
Труды БГТУ. Сер. 3, Физико-математические науки и информатика 2020 № 2 (236). - С. 85-88 RU/IS/BASE/656174481 [ко всему сборнику] Издается с июля 1993 года 2520-6141 |
