| Индекс УДК | 539.216.2 |
|
Рост углеродной пленки, образующейся на поверхности полимерного диэлектрика в процессе ионной имплантации Текст |
|
|
Взаимодействие атомных частиц с твердым телом : материалы VIII Всесоюзной конференции, 7-9 января 1987 г. Москва, 1987 Т. 2. - С. 273-274 |
