Индекс УДК | 537.311.3 |
Моделирование неупрорядоченной системы методом ионной имплантации Текст |
|
Взаимодействие атомных частиц с твердым телом : материалы VII Всесоюзной конференции Минск : Минский радиотехнический институт, 1984 Ч. II. - С. 150-151 |