| Индекс УДК | 539.211:539.188 |
| Автор | Бобрович, Олег Георгиевич |
|
Влияние воздействия термического отжига на дефектообразование в арсениде галлия при имплантации ионов фосфора Электронный ресурс |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | БГТУ |
| Ключевые слова | кристаллы |
|
Физико-математические науки Минск : БГТУ, 2019 С. 13 RU/IS/BASE/605609048 |
