| Индекс УДК | 621.793 |
|
Система сепарации плазмы при осаждении многокомпонентных покрытий Текст |
|
| Ключевые слова | осаждение покрытий |
| Другие авторы | Романов, И. М. |
|
Современные методы и технологии создания и обработки материалов: VII Международная научно-техническая конференция (Минск, 19—21 сентября 2012 г.) : сборник материалов: в 3 кн. Минск : ФТИ НАН Беларуси, 2012 Книга 2. - С. 94-100 |
