Индекс УДК | 539.1.06:539.23.234 |
Автор | Тульев, Валентин Валентинович |
Состав и распределение компонентов по глубине в покрытиях, полученных ионно-ассистируемым осаждением титана и кремния на сталь марки 40Х Текст |
|
Место издания | Минск |
Издательство | БГТУ |
Дата издания оригинала | 2017 |
Ключевые слова | ионно-ассистируемое осаждение |
Другие авторы | Ташлыков, Игорь Серафимович |
Труды БГТУ. Сер. 3, Физико-математические науки и информатика RU/IS/BASE/563640646 Минск : БГТУ, 2017 [ко всему сборнику] Издается с июля 1993 года 2520-6141 № 2 (200). - С. 66-70 |