Поиск

Состав и распределение компонентов по глубине в покрытиях, полученных ионно-ассистируемым осаждением титана и кремния на сталь марки 40Х

Авторы: Тульев, Валентин Валентинович Ташлыков, Игорь Серафимович
Местонахождение Подробная информация
Индекс УДК 539.1.06:539.23.234
Автор Тульев, Валентин Валентинович
Состав и распределение компонентов по глубине в покрытиях, полученных ионно-ассистируемым осаждением титана и кремния на сталь марки 40Х
Текст
Место издания Минск
Издательство БГТУ
Дата издания оригинала 2017
Ключевые слова ионно-ассистируемое осаждение
Другие авторы Ташлыков, Игорь Серафимович
Труды БГТУ. Сер. 3, Физико-математические науки и информатика
RU/IS/BASE/563640646
Минск : БГТУ, 2017
[ко всему сборнику] Издается с июля 1993 года
2520-6141
№ 2 (200). - С. 66-70